课程详细信息

课程代码 :
X210525
课程名称 :
微电子可靠性与成品率
课程英文名称 :
Reliability and Yield for Microelectroni
课程简称:
类型 :
院系
开课学期:
春秋季
学科/院系:
(210)电子信息与电气工程学院(微电子学院)
课程学分:
3
是否跨学期 :
否
总学时:
54
实验课学时 :
讨论学时 :
周学时 :
课程性质 :
专业课
课程层次 :
硕士课程
课程分类 :
全日制课程
课程类型 :
硕士学位课
考试方式:
上课方式:
课程教材语种类型:
授课语言类型:
成绩等级 :
通过不通过
是否绩点统计 :
否
开课状态 :
开课
任课老师:
课程简介 :
集成电路的可靠性和成品率是先进集成电路制造技术得以大规模产业化的关键所在，也是集成电路设计时需要重点考虑的因素。随着特征尺寸的进一步缩小，可靠性问题的重要性日益突出，如何解决先进半导体工艺的可靠性问题成为集成电路制造技术发展的瓶颈之一。《微电子可靠性与成品率》将引领学生进入到这一极富挑战性的领域。因此，对微电子学、电子信息与电气工程、工程管理、应用物理及半导体材料等专业领域的学生来说，了解半导体可靠性及各种失效分析手段是非常有必要的。 《微电子可靠性与成品率》主要讨论和分析可靠性和成品率概述、可靠性数学、可靠性测试手段、主要的失效分析手段、集成电路中的主要失效机制以及相应的成品率提升方法、先进工艺节点和新型材料给集成电路制造带来的新挑战。因此本课程内容是当今集成电路制造技术的重要组成部分。
课程英文简介:
教学大纲:
第一章 可靠性概述（6学时） 1 可靠性和成品率的定义 2 可靠性工程的历史和经典案例 3 摩尔定律对可靠性的挑战 4 IC可靠性工程的发展趋势 5 IC主要失效机制概述 第二章 可靠性数学（6学时） 1 可靠性与概率论 2 失效率和平均失效时间 3 失效函数与失效分布 4 浴盆曲线和条件可靠性 5 多模分布 第三章 可靠性测试方法和失效数据分析（6学时） 1 加速测试 2 疲劳测试 3 筛选 4 失效数据的分等与审查 5 失效数据的拟合 第四章 主要的失效分析方法（6学时） 1 聚焦离子束分析与电子显微镜 2 红外显微镜与红热像仪 3 声学显微镜与颗粒碰撞噪声检测 4 X射线谱仪与俄歇电子能谱分析 5 破坏性物理分析 第五章 氧化层击穿和热载流子退化（6学时） 1 氧化层击穿机制 2 抑制氧化层击穿的手段 3 High-k栅介质的可靠性问题 4 热载流子效应 5 热载流子退化及其改善措施 第六章 互连可靠性（6学时） 1 电迁移 2 应力迁移 3 铝互连可靠性 4 铜互连可靠性 5 Low-k介质的可靠性问题 第七章 静电放电ESD（6学时） 1 ESD模型 2 传输线脉冲测试 3 ESD引起的缺陷 4 ESD保护器件 5 ESD保护电路 第八章 微电子成品率（6学时） 1 成品率的定义 2 成品率模型 3 缺陷模型 4 成品率元素 5 成品率与可靠性的关系 第九章 课堂报告和讨论（6学时） 由学生给出关于微电子可靠性与成品率问题的报告，并进行讨论
教学进度:
考试大纲:
开卷考试，课堂报告的表现也计入总成绩